Wafer Map & Region Split
Waferマップ解析と領域分割解析
Waferを複数領域に分割し、良品率、不良カテゴリ率、測定データ統計値を領域単位で確認。 局所異常やプロセス異常の特定を支援します。
10分割／16分割
Waferを複数領域に分け、領域ごとに良品率や統計値を比較します。中心・外周・局所領域の違いを把握しやすくなります。
対象データ
良品率、不良カテゴリ率、測定データの平均値、中央値、IQR、標準偏差などを集計できます。
異常の深掘り
異常が予想される場合、カテゴリマップや数値マップでチップ単位まで掘り下げ、詳細解析へ進みます。