Diagram Gallery
画面ギャラリー
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システム構成図:ServerとClient、DB、Parser、アラーム通知の全体構成
KA解析システム概要:テストシステム、MES、解析サーバ、解析ツールの連携
2D相関解析:上下限規格値と散布図から外れ値を確認
Waferマップギャラリー:複数Waferの空間分布を一覧表示
ヒストグラムギャラリー:測定値分布をWaferごとに比較
QQプロットギャラリー:分布のずれや外れ傾向を確認
Pass/Failマップギャラリー:合否分布をWaferごとに可視化
Xbar-R管理図:工程変動や装置ドリフトを時系列監視
Wafer管理図:領域分割結果を時系列で分析
Wafer領域分割方法:4種類のエリア分割と評価対象データ
エリア分割・PFマップ:良品率やPass/Failの空間傾向を確認
カテゴリマップ・数値マップ:チップごとのカテゴリやテスト値を表示