Anomaly Detection
管理図解析と異常検知
Xbar-R / Xbar-S、EWMA、CUSUM、Z-score、IQR、Waferマップ分布偏り、相関外れ値検出を組み合わせ、 工程異常や装置異常の早期把握を支援します。
統計的異常検知
Z-score、IQRにより、測定値分布から外れ値を検出します。新規製品立ち上げ時の異常データ除去にも有効です。
管理図解析
Xbar-R / Xbar-S、EWMA、CUSUMにより、工程の変動、ドリフト、装置異常の兆候を時系列で監視します。
空間・相関解析
Waferマップの分布偏りや相関から外れたチップを抽出し、局所異常と影響パラメータの特定を支援します。
Automation
自動化機能
新規Lot投入時の自動解析、異常検知時のアラート、定期レポート生成により、日々の監視・報告業務を効率化します。
Next
管理対象データの構造と性能を確認
Lot単位分散、STDF/CSV/JSON、MySQL 256シャーディングなどの技術仕様を確認できます。