Use Cases & Benefits
導入効果・ユースケース
歩留まり低下の原因特定、装置異常検知、新規製品立ち上げを支援し、 解析時間短縮、工数削減、TAT短縮につなげます。
歩留まり低下時の原因特定
- Lot単位で良品率を確認
- Waferマップで空間分布を可視化
- 領域分割で局所異常を特定
- 相関解析で影響パラメータを抽出
- 工程・装置へフィードバック
装置異常検知
Xbar-R、EWMA、CUSUMなどの管理図によりトレンドを監視し、 ドリフト検知で装置異常を早期に把握します。
新規製品立ち上げ
パラメータ分布の早期評価、相関分析による重要パラメータ抽出、 異常データの早期除去に活用できます。
Benefits
導入メリット
半導体歩留まりの向上、不良の早期検知、工程異常・装置異常検知、 解析自動化、エンジニア工数削減、製造コスト削減、生産リードタイム短縮を支援します。
※効果は環境・製品・導入範囲に依存します。
他ツールとの差別化
- 半導体テストデータ専用設計
- Lot / Wafer / Site構造対応
- Waferマップと統計解析の統合
- WT/FTデータ横断解析
- ビッグデータ前提アーキテクチャ
前提条件・制約
- データはLot単位管理を前提
- 欠損値は前処理または内部処理に依存
- スパースデータでは相関精度が低下する可能性
今後の拡張
- 機械学習による異常検知
- クラスタリングによる不良分類
- 予測分析（Yield予測）
Contact
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