Analysis Features
基本統計・相関解析・可視化機能
ロット単位／Wafer単位の統計解析、テスト項目間の相関、ヒストグラム・QQプロット・Waferマップ表示により、 不良兆候や外れ値を早期に把握できます。
基本統計解析
平均値、中央値、標準偏差、IQRなどの統計量を算出し、測定データの分布から不良兆候や外れ値を検出します。
- Lot単位／Wafer単位解析
- 測定分布の可視化
- Waferヒートマップ
相関解析
テスト項目間、工程間、Wafer間、Lot間の相関を確認し、歩留まり低下に関連するパラメータを抽出します。
- 異常チップ検出
- 原因候補の絞り込み
- 工程フィードバック支援
可視化
Waferマップ、Pass/Failマップ、ヒストグラム、QQプロット、カテゴリマップにより、異常を直感的に把握できます。
- 視覚的な異常把握
- 解析時間の短縮
- 複数Waferの比較
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Wafer上の局所異常まで掘り下げる
空間分布に異常が見えたら、Waferマップ・領域分割解析ページで詳細を確認できます。